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文献
J-GLOBAL ID:201702231440875949   整理番号:17A0864772

微細構造を利用したサブマイクロメートル印刷技術の開発

著者 (4件):
穂苅遼平
(産業技術総合研)
栗原一真
(産業技術総合研)
高田尚樹
(産業技術総合研)
廣島洋
(産業技術総合研)

資料名:
日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)

巻: 23rd  ページ: ROMBUNNO.OS1302-04  発行年: 2017年03月15日 
JST資料番号: L3954B  ISSN: 2424-2691  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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