文献
J-GLOBAL ID:201702236380548573
整理番号:17A0381492
Nano-DMAと分子動力学を用いたMEMSのためのパリレン薄膜の粘弾性の比較研究【Powered by NICT】
Comparative study of the viscoelasticity of parylene thin films for MEMS using Nano-DMA and Molecular Dynamics
著者 (5件):
Sui Wenshu
(The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
,
Duvieusart Maxime S.
(The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
,
Zhao Junhua
(Jiangnan University, Wuxi, China)
,
Tai Yu-Chong
(California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125, USA)
,
Lee Yi-Kuen
(The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
468-471
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)