文献
J-GLOBAL ID:201702236686089437
整理番号:17A0728205
斜めに研磨された試料を用いたInGaN/GaN多重量子井戸構造体のSEM観測および解析
SEM observation and analysis of InGaN/GaN multiple quantum well structure using obliquely polished sample
著者 (2件):
TANAKA Shigeyasu
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
KARUMI Takahiro
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名:
Microscopy
(Microscopy)
巻:
66
号:
2
ページ:
131-135
発行年:
2017年04月
JST資料番号:
W1384A
ISSN:
2050-5698
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)