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J-GLOBAL ID:201702239589411312   整理番号:17A1465154

熱アシスト(400°C)Siシードパルスレーザアニーリングによる大単結晶Ge【Powered by NICT】

Large single-crystal Ge-on-insulator by thermally-assisted (400°C) Si-seeded-pulse-laser annealing
著者 (5件):
Sadoh T.
(Department of Electronics, Kyushu University, 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, Japan)
Kurosawa M.
(Department of Electronics, Kyushu University, 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, Japan)
Heya A.
(Department of Materials and Synchrotron Radiation Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan)
Matsuo N.
(Department of Materials and Synchrotron Radiation Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan)
Miyao M.
(Department of Electronics, Kyushu University, 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, Japan)

資料名:
Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)

巻: 70  ページ: 8-11  発行年: 2017年 
JST資料番号: W1055A  ISSN: 1369-8001  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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