文献
J-GLOBAL ID:201702240748669991
整理番号:17A0118156
誘電体堆積過程におけるプラズマ診断【Powered by NICT】
Plasma diagnostics in dielectric deposition processes
著者 (2件):
Schulz Christian
(Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany)
,
Rolfes Ilona
(Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SENSORS
ページ:
1-3
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)