文献
J-GLOBAL ID:201702243969815910
整理番号:17A1456425
計算リソグラフィーを用いた非球面レンズ設計【Powered by NICT】
Aspherical Lens Design Using Computational Lithography
著者 (3件):
Murakami Seiro
(Department of Mechano-Micro Engineering, Tokyo Institute of Technology 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
,
Yanagida Yasuko
(Laboratory for Interdisciplinary Research Laboratory and Technology (FIRST), Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
,
Hatsuzawa Takeshi
(Laboratory for Interdisciplinary Research Laboratory and Technology (FIRST), Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
50
ページ:
372-379
発行年:
2017年
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)