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著者 (6件)：
資料名：
巻： 2017 号： NEMS ページ： 840-843 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702256185983281
整理番号：17A1358217
硬質けい素とフレキシブルポリイミド膜から成るハイブリッド構造の微細加工【Powered by NICT】
Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes
Murakami Sunao
(Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
,
Ishihara Daisuke
(Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
,
Araki Masateru
(Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
,
Horie Tomoyoshi
(Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
,
Ohira Naoto
(Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
,
Ito Takahiro
(Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： NEMS ページ： 840-843 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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