文献
J-GLOBAL ID:201702257106082204
整理番号:17A0063599
光化学的エッチング法によるSIC基板のエピタキシャル層の除去とそのキャラクタリゼーションを行った。【JST・京大機械翻訳】
Photo-electrochemical removal of graphene buffer layer on SiC substrate
著者 (6件):
Sun Li
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
,
Chen Xiufang
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
,
Zhang Fusheng
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
,
Yu Cancan
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
,
Zhao Xian
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
,
Xu Xiangang
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
資料名:
Huagong Xuebao
(Huagong Xuebao)
巻:
67
号:
10
ページ:
4356-4362
発行年:
2016年
JST資料番号:
E0215B
ISSN:
0438-1157
CODEN:
HUKHAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
中国語 (ZH)