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文献
J-GLOBAL ID:201702257106082204   整理番号:17A0063599

光化学的エッチング法によるSIC基板のエピタキシャル層の除去とそのキャラクタリゼーションを行った。【JST・京大機械翻訳】

Photo-electrochemical removal of graphene buffer layer on SiC substrate
著者 (6件):
Sun Li
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
Chen Xiufang
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
Zhang Fusheng
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
Yu Cancan
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
Zhao Xian
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)
Xu Xiangang
(State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University)

資料名:
Huagong Xuebao  (Huagong Xuebao)

巻: 67  号: 10  ページ: 4356-4362  発行年: 2016年 
JST資料番号: E0215B  ISSN: 0438-1157  CODEN: HUKHAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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