文献
J-GLOBAL ID:201702263248241356
整理番号:17A1810385
集束イオンビーム加工シリコンナノワイヤの機械的特性の比較
Comparison of mechanical characteristics of focused ion beam fabricated silicon nanowires
著者 (6件):
INA Ginnosuke
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
FUJII Tatsuya
(Akita Prefectural Univ., Akita, JPN)
,
KOZEKI Takahiro
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
MIURA Eri
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
INOUE Shozo
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
NAMAZU Takahiro
(Aichi Inst. of Technol., Aichi, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
56
号:
6S1
ページ:
06GN17.1-06GN17.6
発行年:
2017年06月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)