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著者 (3件)：
資料名：
巻： 7 ページ： 185-189 発行年： 2017年
JST資料番号： W3082A ISSN： 2352-9407 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702268879654006
整理番号：17A1000021
低圧反応性プラズマ中の浮上ナノマイクロサイズ粒子に及ぼす基板の熱放射効果【Powered by NICT】
The thermal radiation effect of substrate on nano-microsized particles levitating in low-pressure reactive plasmas
Nagai Tatsuzo
(Kyushu Kyoritsu University Research Institute, Kitakyushu, Fukuoka 807-8585, Japan)
,
Naitoh Masamichi
(Graduate School of Life Science and System Engineering, Kyushu Institute of Technology, Kitakyushu, Fukuoka 808-0196, Japan)
,
Shoji Fumiya
(Kyushu Kyoritsu University Research Institute, Kitakyushu, Fukuoka 807-8585, Japan)
資料名：
Applied Materials Today
(Applied Materials Today)
巻： 7 ページ： 185-189 発行年： 2017年
JST資料番号： W3082A ISSN： 2352-9407 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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