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著者 (10件)：
資料名：
巻： 9985 ページ： 99852E.1-99852E.7 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702269790652845
整理番号：17A0289880
2xnmホール-NILテンプレート製造用の高性能製造工程
High-performance fabrication process for 2xnm hole-NIL template production
YAGAWA Keisuke
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SUENAGA Machiko
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MOTOKAWA Takeharu
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
TANABE Mana
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ANDO Akihiko
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YAMANAKA Eiji
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MORISHITA Keiko
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KANAMITSU Shingo
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SAITO Masato
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ITOH Masamitsu
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9985 ページ： 99852E.1-99852E.7 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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