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文献
J-GLOBAL ID:201702270492949935   整理番号:17A1223582

III族原料流量変調エピタクシーにより育成したヒロックのない滑らかな表面をもつN面GaN(000-1)膜

N-face GaN(000<span style=text-decoration:overline>1</span>) films with hillock-free smooth surfaces grown by group-III-source flow-rate modulation epitaxy
著者 (3件):
LIN Chia-Hung
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
AKASAKA Tetsuya
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
YAMAMOTO Hideki
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 55  号: 4S  ページ: 04EJ01.1-04EJ01.4  発行年: 2016年04月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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