文献
J-GLOBAL ID:201702270492949935
整理番号:17A1223582
III族原料流量変調エピタクシーにより育成したヒロックのない滑らかな表面をもつN面GaN(000-1)膜
N-face GaN(000<span style=text-decoration:overline>1</span>) films with hillock-free smooth surfaces grown by group-III-source flow-rate modulation epitaxy
著者 (3件):
LIN Chia-Hung
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
AKASAKA Tetsuya
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMAMOTO Hideki
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
55
号:
4S
ページ:
04EJ01.1-04EJ01.4
発行年:
2016年04月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)