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資料名：
巻： 10145 号： Pt.1 ページ： 101450G.1-101450G.41 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702270886801295
整理番号：17A1090444
7nmおよび5nmロジックノードの計測機能と必要性
Metrology Capabilities and Needs for 7nm and 5nm Logic Nodes
BUNDAY Benjamin
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
SOLECKY Eric
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
VAID Alok
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
BELLO A. F.
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
DAI Xintuo
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10145 号： Pt.1 ページ： 101450G.1-101450G.41 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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