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J-GLOBAL ID:201702273344482706   整理番号:17A1381682

法線ベクトル追跡法に基づくnanoprofilerによる高精度三次元非球面ミラー測定【Powered by NICT】

High-accuracy three-dimensional aspheric mirror measurement with nanoprofiler based on normal vector tracing method
著者 (7件):
Kudo Ryota
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
Kitayama Takao
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
Tokuta Yusuke
(Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
Shiraji Hiroki
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
Nakano Motohiro
(Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
Yamamura Kazuya
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
Endo Katsuyoshi
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)

資料名:
Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)

巻: 98  ページ: 159-162  発行年: 2017年 
JST資料番号: A0602B  ISSN: 0143-8166  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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