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J-GLOBAL ID:201702277761798636   整理番号:17A1125329

HAXPES解析から評価したSi-MOS構造のための潜在的変化と化学結合の特徴【Powered by NICT】

Potential changes and chemical bonding features for Si-MOS structure as evaluated from HAXPES analysis
著者 (7件):
Ohta Akio
(Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8603, Japan)
Ohta Akio
(Institute for Advanced Research, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8601, Japan)
Murakami Hideki
(National Institute of Technology, Kurume College, 1-1-1, Komorino, Kurume, Fukuoka 830-8555, Japan)
Ikeda Mitsuhisa
(Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8603, Japan)
Makihara Katsunori
(Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8603, Japan)
Ikenaga Eiji
(Japan Synchrotron Radiation Research Institute, 1-1-1, Kouto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5148, Japan)
Miyazaki Seiichi
(Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8603, Japan)

資料名:
Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)

巻: 178  ページ: 80-84  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0406B  ISSN: 0167-9317  CODEN: MIENEF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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