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著者 (6件)：
資料名：
巻： 214 号： 11 ページ： ROMBUNNO.201700393 発行年： 2017年
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702279302029449
整理番号：17A1830817
AlGaN薄膜表面上のN_2とO_2プラズマ誘起損傷の特性【Powered by NICT】
Characteristics of N2 and O2 Plasma-Induced Damages on AlGaN Thin Film Surfaces
Kawakami Retsuo
(Graduate School of Technology, Industrial and Social Sciences, Tokushima University, Tokushima 770-8506, Japan)
,
Niibe Masahito
(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan)
,
Nakano Yoshitaka
(Chubu University, Kasugai, Aichi 487-8501, Japan)
,
Tanaka Ryo
(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan)
,
Azuma Chisato
(Graduate School of Technology, Industrial and Social Sciences, Tokushima University, Tokushima 770-8506, Japan)
,
Mukai Takashi
(Nichia Corporation, Anan, Tokushima 774-0044, Japan)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214 号： 11 ページ： ROMBUNNO.201700393 発行年： 2017年
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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