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著者 (11件)：
資料名：
巻： 117 号： 7(SDM2017 1-8) ページ： 19-23 発行年： 2017年04月13日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201702281680636459
整理番号：17A0605016
GaN基板のプラズマ融合CMP技術-エタノールバブリング・Arプラズマを用いたプラズマ融合CMP特性とその評価-
Plasma fusion CMP technology for GaN substrates-Evaluation of processing characteristics for plasma fusion CMP using Ar plasma and ethanol bubbling-
山崎直樹
(九大)
,
山崎直樹
(並木精密宝石)
,
土肥俊郎
(九大)
,
會田英雄
(九大)
,
會田英雄
(並木精密宝石)
,
KIM Seongwoo
(並木精密宝石)
,
大山幸希
(並木精密宝石)
,
黒河周平
(九大)
,
佐野泰久
(大阪大)
,
白谷正治
(九大)
,
山西陽子
(九大)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117 号： 7(SDM2017 1-8) ページ： 19-23 発行年： 2017年04月13日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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