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J-GLOBAL ID：201702283344401372 整理番号：17A1456421

集束イオンビームと深紫外レーザ照射を用いた単結晶ダイヤモンド表面上のサブミクロンスケールのパターニング【Powered by NICT】

Sub-micrometer scale patterning on single-crystal diamond surface using focused ion beam and deep ultraviolet laser irradiations

著者 (5件)：

Kawasegi Noritaka

(Central Research Institute, Toyama Industrial Technology Center, 150 Futagami-machi, Takaoka-shi, Toyama 933-0981, Japan)

Yamaguchi Makoto

(Graduate School of Engineering, Akita University, 1-1 Tegatagakuen-machi, Akita-shi, Akita 010-8502, Japan)

Kozu Tomomi

(Graduate School of Engineering, Akita University, 1-1 Tegatagakuen-machi, Akita-shi, Akita 010-8502, Japan)

Morita Noboru

(Graduate School of Engineering, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba-shi, Chiba 263-8522, Japan)

Nishimura Kazuhito

(Faculty of Engineering, Kogakuin University, 2665-1 Nakano-machi, Hachioji-shi, Tokyo 192-0015, Japan)

資料名：

Precision Engineering (Precision Engineering)

巻： 50 ページ： 337-343 発行年： 2017年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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