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文献

J-GLOBAL ID：201702288776833825 整理番号：17A0118555

多層金属技術によるMEMS慣性センサのプルーフマス構造設計のための減衰定数モデル【Powered by NICT】

A damping constant model for proof-mass structure design of MEMS inertial sensor by multi-layer metal technology

著者 (7件)：

Konishi Toshifumi

(Nano-Technology Business Unit, NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan)

Safu Teruaki

(Nano-Technology Business Unit, NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan)

Machida Katsuyuki

(Nano-Technology Business Unit, NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan)

Yamane Daisuke

(Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa, Japan)

Sone Masato

(Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa, Japan)

Masu Kazuya

(Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa, Japan)

Toshiyoshi Hiroshi

(Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, Meguro-ku, Tokyo Japan)

資料名：

IEEE Conference Proceedings (IEEE Conference Proceedings)

巻： 2016 号： SENSORS ページ： 1-3 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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