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著者 (4件)：
資料名：
巻： 2016 号： IEDM ページ： 31.7.1-31.7.4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702298711700703
整理番号：17A0214337
先端技術のBEOLヘラジカの基本AC TDDB研究【Powered by NICT】
A fundamental AC TDDB study of BEOL ELK in advanced technology
Chang M. N.
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., 121, Park Ave. 3, Science-Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan 300-77, R.O.C.)
,
Lee Y.-H.
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., 121, Park Ave. 3, Science-Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan 300-77, R.O.C.)
,
Lee S. Y.
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., 121, Park Ave. 3, Science-Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan 300-77, R.O.C.)
,
Huang Y. S.
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., 121, Park Ave. 3, Science-Based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan 300-77, R.O.C.)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： IEDM ページ： 31.7.1-31.7.4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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