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著者 (6件)：
資料名：
巻： 2018 号： INERTIAL ページ： 1-4 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802210758748881
整理番号：18A0944311
ピエゾ抵抗MEMS加速度計に及ぼす液体パッケージングの影響【JST・京大機械翻訳】
Liquid packaging effects on piezoresistive MEMS accelerometer
Liu Xixiang
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
,
Jiang Weile
(School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
,
Zhao Libo
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
,
Jia Chen
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
,
Yu Mingzhi
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
,
Jiang Zhuangde
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： INERTIAL ページ： 1-4 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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