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文献
J-GLOBAL ID:201802215361661569   整理番号:18A0932019

光キャリア計数による界面状態の非接触評価

Noncontact evaluation for interface states by photocarrier counting
著者 (6件):
FURUTA Masaaki
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
SHIMIZU Kojiro
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
MAETA Takahiro
(GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN)
MIYASHITA Moriya
(GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN)
IZUNOME Koji
(GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN)
KUBOTA Hiroshi
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 57  号:ページ: 031301.1-031301.6  発行年: 2018年03月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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