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著者 (5件)：
資料名：
巻： 36 号： 4 ページ： 042903-042903-5 発行年： 2018年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802217311965261
整理番号：18A1490525
ヘリウムイオン顕微鏡におけるアクティブ電圧コントラストイメージングのためのその場電圧応用システム【JST・京大機械翻訳】
In situ voltage-application system for active voltage contrast imaging in helium ion microscope
Sakai Chikako
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Ishida Nobuyuki
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Nagano Shoko
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Onishi Keiko
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Fujita Daisuke
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 36 号： 4 ページ： 042903-042903-5 発行年： 2018年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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