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著者 (7件)：
資料名：
巻： 10454 ページ： 1045414.1-1045414.6 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802225281154070
整理番号：18A0111304
Exposure characteristics of positive tone electron beam resist containing p-chloro-α-methylstyrene
OCHIAI Shunsuke
(Yamaguchi Univ., Ube, JPN)
,
TAKAYAMA Tomohiro
(Yamaguchi Univ., Ube, JPN)
,
KISHIMURA Yukiko
(Yamaguchi Univ., Ube, JPN)
,
ASADA Hironori
(Yamaguchi Univ., Ube, JPN)
,
SONODA Manae
(Miyakonojo Coll., Miyakonojo, JPN)
,
IWAKUMA Minako
(Miyakonojo Coll., Miyakonojo, JPN)
,
HOSHINO Ryoichi
(Fine Materal System Inc., Tokyo, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10454 ページ： 1045414.1-1045414.6 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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