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資料名：
巻： 84 号： 3 ページ： 221-224(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201802234273971782
整理番号：18A0776657
平坦化CMPにおける高精度研磨レート分布推定技術の開発
Development of Accurate Prediction Technology of Material Removal Rate Distribution in Planarization CMP
鈴木教和
(名古屋大学大学院工学研究科)
,
橋本洋平
(金沢大学理工研究域)
資料名：
精密工学会誌(Web)
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 84 号： 3 ページ： 221-224(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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