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文献
J-GLOBAL ID:201802234273971782   整理番号:18A0776657

平坦化CMPにおける高精度研磨レート分布推定技術の開発

Development of Accurate Prediction Technology of Material Removal Rate Distribution in Planarization CMP
著者 (2件):
鈴木教和
(名古屋大学大学院工学研究科)
橋本洋平
(金沢大学理工研究域)

資料名:
精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))

巻: 84  号:ページ: 221-224(J-STAGE)  発行年: 2018年 
JST資料番号: U0462A  ISSN: 1882-675X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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