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資料名：
巻： 57 号： 1S ページ： 01AA05.1-01AA05.7 発行年： 2018年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802240895858622
整理番号：18A0910735
円形磁石モノポール配置で得られたターゲット用のRF磁化リング形状プラズマ
RF magnetized ring-shaped plasma for target utilization obtained with circular magnet monopole arrangement
HOSSAIN Md. Amzad
(Saga Univ., Saga, JPN)
,
HOSSAIN Md. Amzad
(Jessore Univ. Sci. and Technol., Jessore, BGD)
,
OHTSU Yasunori
(Saga Univ., Saga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 1S ページ： 01AA05.1-01AA05.7 発行年： 2018年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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