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資料名：
巻： 57 号： 6S2 ページ： 06JG01.1-06JG01.7 発行年： 2018年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802241921774170
整理番号：18A1330581
3極VHF SiH4プラズマの2次元シミュレーション
Two dimensional simulations of triode VHF SiH4 plasma
SU Li-Wen
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
CHEN Weiting
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
UCHINO Kiichiro
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KAWAI Yoshinobu
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 6S2 ページ： 06JG01.1-06JG01.7 発行年： 2018年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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