文献
J-GLOBAL ID:201802257774133821
整理番号:18A0910790
マグネトロンスパッタリングによるカーボンナノチューブバンプの接合と転写
Bonding and transferring of carbon nanotube bumps using magnetron sputtering
著者 (3件):
FUJINO Masahisa
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TERASAKA Hidenori
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SUGA Tadatomo
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
57
号:
2S1
ページ:
02BC02.1-02BC02.5
発行年:
2018年02月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)