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文献
J-GLOBAL ID:201802257938810912   整理番号:18A1699206

ミストCVD法で作製されたATO薄膜の電気的および光学的特性

著者 (9件):
上田真理子
(高知工大 院)
LIU Li
(高知工大 院)
佐藤翔太
(高知工大 院)
DANG Giang T.
(高知工大 総研)
川原村敏幸
(高知工大 院)
川原村敏幸
(高知工大 総研)
藤田静雄
(京大)
織田容征
(東芝三菱電機産業システム)
平松孝浩
(東芝三菱電機産業システム)

資料名:
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻: 79th  ページ: ROMBUNNO.20a-234A-3  発行年: 2018年09月05日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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