文献
J-GLOBAL ID:201802260402119723
整理番号:18A1946040
塩化水素との相互作用によるSi(100)表面のエピタキシャル成長を抑制する反応の動力学【JST・京大機械翻訳】
Dynamics of reactions inhibiting epitaxial growth of Si(100) surfaces via interaction with hydrogen chloride
著者 (4件):
Kunioshi Nilson
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
,
Fujimura Yoshiki
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
,
Fuwa Akio
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
,
Yamaguchi Katsunori
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
資料名:
Computational Materials Science
(Computational Materials Science)
巻:
155
ページ:
28-35
発行年:
2018年
JST資料番号:
W0443A
ISSN:
0927-0256
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)