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J-GLOBAL ID:201802260402119723   整理番号:18A1946040

塩化水素との相互作用によるSi(100)表面のエピタキシャル成長を抑制する反応の動力学【JST・京大機械翻訳】

Dynamics of reactions inhibiting epitaxial growth of Si(100) surfaces via interaction with hydrogen chloride
著者 (4件):
Kunioshi Nilson
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
Fujimura Yoshiki
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
Fuwa Akio
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)
Yamaguchi Katsunori
(Graduate School of Creative Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, Japan)

資料名:
Computational Materials Science  (Computational Materials Science)

巻: 155  ページ: 28-35  発行年: 2018年 
JST資料番号: W0443A  ISSN: 0927-0256  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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