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文献
J-GLOBAL ID:201802261321943815   整理番号:18A1494407

無気孔アミド系エポキシ樹脂研磨パッドの開発

Development of Non-foaming Polishing Pads Using Polyamide-based Epoxy Resin
著者 (3件):
ZHANG Yu
(立命館大学)
谷泰弘
(立命館大学)
野村信幸
(九重電気(株))

資料名:
精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))

巻: 84  号:ページ: 646-651(J-STAGE)  発行年: 2018年 
JST資料番号: U0462A  ISSN: 1882-675X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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