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J-GLOBAL ID:201802266203131278   整理番号:18A0850718

ハロゲン化物気相エピタクシーによるβ-Ga_2O_3層のホモエピタキシャル成長のための酸素源としてのO_2とH_2Oの比較【JST・京大機械翻訳】

Comparison of O2 and H2O as oxygen source for homoepitaxial growth of β-Ga2O3 layers by halide vapor phase epitaxy
著者 (17件):
Konishi Keita
(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
Goto Ken
(Tamura Corporation, 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)
Goto Ken
(Novel Crystal Technology, Inc., 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)
Goto Ken
(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
Togashi Rie
(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
Togashi Rie
(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588 Japan)
Murakami Hisashi
(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
Murakami Hisashi
(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588 Japan)
Higashiwaki Masataka
(National Institute of Information and Communications Technology, 4-2-1 Nukui-Kitamachi, Koganei, Tokyo 184-8795, Japan)
Kuramata Akito
(Tamura Corporation, 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)
Kuramata Akito
(Novel Crystal Technology, Inc., 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)
Yamakoshi Shigenobu
(Tamura Corporation, 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)
Yamakoshi Shigenobu
(Novel Crystal Technology, Inc., 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)
Monemar Bo
(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588 Japan)
Monemar Bo
(Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden)
Kumagai Yoshinao
(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
Kumagai Yoshinao
(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16 Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588 Japan)

資料名:
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

巻: 492  ページ: 39-44  発行年: 2018年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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