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J-GLOBAL ID:201802268290026673   整理番号:18A0969368

RF ICP放電に及ぼすイオン-中性衝突過程の影響の数値解析【JST・京大機械翻訳】

Numerical analysis of effects of ion-neutral collision processes on RF ICP discharge
著者 (4件):
Nishida K.
(Graduate School of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
Mattei S.
(CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland)
Lettry J.
(CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland)
Hatayama A.
(Graduate School of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)

資料名:
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

巻: 123  号:ページ: 043305-043305-10  発行年: 2018年 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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