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資料名：
巻： 57 号： 7S2 ページ： 07MD03.1-07MD03.5 発行年： 2018年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802269883954770
整理番号：18A1520331
サファイアの化学機械研磨に及ぼす混合超微細コロイド状シリカ粒子の影響
Effects of mixed ultrafine colloidal silica particles on chemical mechanical polishing of sapphire
BUN-ATHUEK Natthaphon
(Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
,
TAKAZAKI Hiroko
(Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
,
YOSHIMOTO Yutaka
(Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
,
KHAJORNRUNGRUANG Panart
(Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
,
YASUNAGA Takuo
(Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
,
SUZUKI Keisuke
(Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 7S2 ページ： 07MD03.1-07MD03.5 発行年： 2018年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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