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著者 (11件)：
資料名：
巻： 57 号： 5 ページ： 051301.1-051301.4 発行年： 2018年05月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802271216840203
整理番号：18A1183447
SiCl4還元のためのタングステンフィラメント法により生成した遠隔供給水素ラジカルの密度評価
Density evaluation of remotely-supplied hydrogen radicals produced via tungsten filament method for SiCl4 reduction
DAHMANI Fatima Zohra
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
DAHMANI Fatima Zohra
(Univ. Sci. and Technol. of Oran Mohamed Boudiaf, Oran, DZA)
,
OKAMOTO Yuji
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
OKAMOTO Yuji
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
TSUTSUMI Daiki
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
TSUTSUMI Daiki
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
,
ISHIGAKI Takamasa
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
,
KOINUMA Hideomi
(Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
HAMZAOUI Saad
(Univ. Sci. and Technol. of Oran Mohamed Boudiaf, Oran, DZA)
,
FLAZI Samir
(Univ. Sci. and Technol. of Oran Mohamed Boudiaf, Oran, DZA)
,
SUMIYA Masatomo
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 5 ページ： 051301.1-051301.4 発行年： 2018年05月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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