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著者 (18件)：
資料名：
巻： 2017 号： S3S ページ： 1-2 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802271544406008
整理番号：18A0588519
3次元逐次集積のための500°C SPER活性化素子に向けて【Powered by NICT】
Towards 500°C SPER activated devices for 3D sequential integration
Micout J.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Sklenard B.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Batude P.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Berthelon R.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Rafhay Q.
(IMEP-LAHC, MINATEC/INPG, Univ. Grenoble Alpes)
,
Lacord J.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Mathieu B.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Pasini L.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Saghi Z.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Delaye V.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Brunet L.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Fenouillet-Beranger C.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Joblot S.
(STMicroelectronics)
,
Mazen F.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Mazzocchi V.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Colinge J-P.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
,
Ghibaudo G.
(IMEP-LAHC, MINATEC/INPG, Univ. Grenoble Alpes)
,
Vinet M.
(CEA, Leti, MINATEC Campus, Univ. Grenoble Alpes)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： S3S ページ： 1-2 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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