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J-GLOBAL ID：201802272307651299 整理番号：18A1932681

Siドープβ-Ga_2O_3のハロゲン化物気相エピタクシーとその電気的性質【JST・京大機械翻訳】

Halide vapor phase epitaxy of Si doped β-Ga₂O₃ and its electrical properties

著者 (15件)：

Goto Ken

(Novel Crystal Technology, Inc., 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)

Goto Ken

(Tamura Corporation, 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)

Goto Ken

(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Konishi Keita

(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Murakami Hisashi

(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Murakami Hisashi

(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Kumagai Yoshinao

(Department of Applied Chemistry, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Kumagai Yoshinao

(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Monemar Bo

(Institute of Global Innovation Research, Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)

Monemar Bo

(Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linkoping University, Linkoping SE-581 83, Sweden)

Higashiwaki Masataka

(National Institute of Information and Communications Technology, 4-2-1Nukui-Kitamachi, Koganei, Tokyo 184-8795, Japan)

Kuramata Akito

(Novel Crystal Technology, Inc., 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)

Kuramata Akito

(Tamura Corporation, 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)

Yamakoshi Shigenobu

(Novel Crystal Technology, Inc., 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)

Yamakoshi Shigenobu

(Tamura Corporation, 2-3-1 Hirosedai, Sayama, Saitama 350-1328, Japan)

資料名：

Thin Solid Films (Thin Solid Films)

巻： 666 ページ： 182-184 発行年： 2018年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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