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著者 (1件)：
資料名：
巻： 84 号： 2 ページ： 182-187(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201802274372361933
整理番号：18A0656462
研磨パッド・アスペリティ内のミクロなスラリー循環流れ-拡大パッド模型を使ったスラリー流れの可視化結果-
Microscale Circulation Flow of Slurry in Polishing Pad Asperities -Results of Flow Visualization of Slurry by Using Enlarged Pad Model-
福田明
((独)国立高等専門学校機構 徳山工業高等専門学校)
資料名：
精密工学会誌(Web)
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 84 号： 2 ページ： 182-187(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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