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文献
J-GLOBAL ID:201802283585904425   整理番号:18A1365906

低速陽電子ビームによるシリカプラズマ重合膜のサブナノ細孔解析

著者 (7件):
吉本茂
(東レリサーチセ)
吉本茂
(産業技術総合研)
伊藤賢志
(産業技術総合研)
熊谷和博
(産業技術総合研)
細見博之
(東レリサーチセ)
竹田正明
(東レリサーチセ)
都留稔了
(広島大)

資料名:
アイソトープ・放射線研究発表会要旨集

巻: 55th  ページ: 64  発行年: 2018年06月20日 
JST資料番号: S0636B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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