文献
J-GLOBAL ID:201802285443367808
整理番号:18A0017880
10ピコメータ不確実性を用いたホモダインレーザー干渉計を用いた線形符号器のための周期的誤差評価システム【Powered by NICT】
Periodic error evaluation system for linear encoders using a homodyne laser interferometer with 10 picometer uncertainty
著者 (5件):
Hori Yasuaki
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), AIST Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan)
,
Gonda Satoshi
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), AIST Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan)
,
Bitou Youichi
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), AIST Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan)
,
Watanabe Akihiro
(Encoder Business Unit, Nikon Corporation, 227, Tako Aza-hara, Natori, Miyagi 981-1221, Japan)
,
Nakamura Koutaro
(Encoder Business Unit, Nikon Corporation, 227, Tako Aza-hara, Natori, Miyagi 981-1221, Japan)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
51
ページ:
388-392
発行年:
2018年
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)