Sorry, this section is only available in Japanese.
著者 (14件)：
資料名：
巻： 79th ページ： ROMBUNNO.21p-233-7 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201802288598817232
整理番号：18A1700754
ミニマル装置を用いたSi基板貫通エッチング技術
田中宏幸
(産業技術総合研)
,
田中宏幸
(ミニマルファブ推進機構)
,
小木曽久人
(産業技術総合研)
,
小木曽久人
(ミニマルファブ推進機構)
,
中野禅
(産業技術総合研)
,
中野禅
(ミニマルファブ推進機構)
,
野沢善幸
(ミニマルファブ推進機構)
,
野沢善幸
(SPPテクノロジーズ)
,
速水利泰
(ミニマルファブ推進機構)
,
速水利泰
(SPPテクノロジーズ)
,
KHUMPUANG S.
(産業技術総合研)
,
KHUMPUANG S.
(ミニマルファブ推進機構)
,
原史朗
(産業技術総合研)
,
原史朗
(ミニマルファブ推進機構)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th ページ： ROMBUNNO.21p-233-7 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。