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資料名：
巻： 10356 ページ： 103560B.1-103560B.16 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201802289242728830
整理番号：18A0110561
Asymmetric metal-insulator-metal (MIM) structure formed by pulsed Nd:YAG laser deposition with titanium nitride (TiN) and aluminum nitride (AlN)
OSHIKANE Yasushi
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10356 ページ： 103560B.1-103560B.16 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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