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資料名：
巻： 65th ページ： ROMBUNNO.20a-C103-8 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201802291057870587
整理番号：18A0633888
スパッタ成膜MoS2の酸化により形成される酸化Moの評価
小林進大
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
武田さくら
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
米田允俊
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
大門寛
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
若林整
(Tokyo Inst. of Technol.)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th ページ： ROMBUNNO.20a-C103-8 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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