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資料名：
巻： 13 号： 2 ページ： 237-245 発行年： 2019年03月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201902215327015758
整理番号：19A0530984
ピラミッド構造研磨パッドの研磨特性に関する研究
Study on Polishing Characteristics of Pyramidal Structured Polishing Pad
SATO Ryunosuke
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
,
ICHIDA Yoshio
(CBN & Diamond Nanomachining Inst., Utsunomiya, JPN)
資料名：
International Journal of Automation Technology
(International Journal of Automation Technology)
巻： 13 号： 2 ページ： 237-245 発行年： 2019年03月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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