文献
J-GLOBAL ID:201902216013603723
整理番号:19A0737887
大気圧化学蒸着により成長させたZnO膜の構造と光学特性に及ぼすNH_3流の影響【JST・京大機械翻訳】
Effects of NH3 flow on structural and optical properties of ZnO films grown by atmospheric-pressure chemical vapor deposition
著者 (3件):
Terasako Tomoaki
(Graduate School of Science & Engineering, Ehime University, 3 Bunkyo-cho, Matsuyama, Ehime 790-8577, Japan)
,
Ogura Yoshinori
(Graduate School of Science & Engineering, Ehime University, 3 Bunkyo-cho, Matsuyama, Ehime 790-8577, Japan)
,
Yagi Masakazu
(National Institute of Technology, Kagawa College, 551 Koda, Takuma-cho, Mitoyo, Kagawa 769-1192, Japan)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
675
ページ:
50-58
発行年:
2019年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)