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著者 (5件)：
資料名：
巻： 10586 ページ： 1058613-8 発行年： 2018年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201902216622866396
整理番号：19A0900829
中赤外自由電子レーザによるレジスト-高分子アブレーション【JST・京大機械翻訳】
Resist-polymer ablation by mid-infrared-free-electron laser
Toriumi Minoru
(Tokyo Univ. of Science (Japan))
,
Kawasaki Takayasu
(Tokyo Univ. of Science (Japan))
,
Araki Mitsunori
(Tokyo Univ. of Science (Japan))
,
Imai Takayuki
(Tokyo Univ. of Science (Japan))
,
Tsukiyama Koichi
(Tokyo Univ. of Science (Japan))
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10586 ページ： 1058613-8 発行年： 2018年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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