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著者 (4件)：
資料名：
巻： 672 ページ： 104-108 発行年： 2019年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201902220163302984
整理番号：19A0329555
高出力インパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンド状炭素膜の形成【JST・京大機械翻訳】
Formation of diamond-like carbon film using high-power impulse magnetron sputtering
Iga Kazunori
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University, 1-501, Shiogamaguchi, Tempaku-ku, Nagoya 468-8502, Japan)
,
Oda Akinori
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Chiba Institute of Technology, 2-17-1 Tsudanuma, Narashino 275-0016, Japan)
,
Kousaka Hiroyuki
(Department of Mechanical Engineering, Gifu University, 1-1 Yanagido, Gifu 501-1193, Japan)
,
Ohta Takayuki
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University, 1-501, Shiogamaguchi, Tempaku-ku, Nagoya 468-8502, Japan)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 672 ページ： 104-108 発行年： 2019年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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