文献
J-GLOBAL ID:201902235253734019
整理番号:19A0228155
アルミニウムによるAlGaAs表面の局所液滴エッチング中の合金化【JST・京大機械翻訳】
Alloying during local droplet etching of AlGaAs surfaces with aluminium
著者 (3件):
Zocher M.
(Center for Hybrid Nanostructures (CHyN), University of Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg, Germany)
,
Heyn Ch.
(Center for Hybrid Nanostructures (CHyN), University of Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg, Germany)
,
Hansen W.
(Center for Hybrid Nanostructures (CHyN), University of Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg, Germany)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
125
号:
2
ページ:
025306-025306-5
発行年:
2019年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)