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資料名：
巻： 58 号： SG ページ： SGGC06.1-SGGC06.4 発行年： 2019年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201902240590725242
整理番号：19A2157313
自己スパッタ結合法を用いた室温でのシリコンへのタンタル酸リチウムの直接接合
Direct bonding of lithium tantalate to silicon at room temperature by using a self-sputtered bonding method
UTSUMI Jun
(Mitsubishi Heavy Ind. Machine Tool Co., Ltd., Shiga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 58 号： SG ページ： SGGC06.1-SGGC06.4 発行年： 2019年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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