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文献
J-GLOBAL ID:201902253176159901   整理番号:19A1489747

大規模超高速in situ特性化による先進FinFETノードにおけるSRAMアレイデバイスへの直接洞察【JST・京大機械翻訳】

Direct insight to SRAM array devices in advanced FinFET nodes by large scale ultra-fast in-situ characterization
著者 (11件):
Song Yuncheng
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Mann Randy
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Xie Sheng
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Teague Sheridan Lucile C.
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Versaggi Joseph
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Sun Dapeng
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Oh Chong Khiam
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
Fimmel Dirk
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
Marienfeld Daniel
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
Hoffmann Matthias
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
Finger Wolfgang
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2019  号: IMW  ページ: 1-4  発行年: 2019年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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